详情介绍

v 解像力：≤350nm

v 投影倍率：1:5

v 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

v 光源：i-Line 365nm

v 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)

v 晶圆尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可选）

v 套刻精度：≤40nm

v 设备尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm