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器件类型:二极管
掺杂类型:p型(硼)
脉冲激光沉积镀膜机PLD
电感耦合等离子体刻蚀ICP
槽式湿法刻蚀清洗设备
详情介绍
v 可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺
v 兼容200mm以下所有尺寸的晶圆,快速更换到不同尺寸的晶圆工艺
v 电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C
型号: 化学气相沉积MOCVD
型号: 电感耦合等离子体刻蚀ICP
型号: 等离子增强化学气相沉积PECVD
型号: 脉冲激光沉积镀膜机PLD
深圳市矢量科学仪器有限公司
91440300MA5G1QDA16
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