型号： 化学气相沉积MOCVD

型号： 反应性离子刻蚀系统RIE

型号： 电感耦合等离子体刻蚀ICP

型号： 等离子增强化学气相沉积PECVD

型号： 脉冲激光沉积镀膜机PLD

型号： 热蒸发镀膜机Thermal Evaporation

型号： 磁控溅射镀膜机Sputter

型号： 电镀设备

型号： 槽式湿法刻蚀清洗设备

型号： TFS 200原子层沉积ALD