详情介绍

v 应用领域：巨磁电阻（GMR）、组合材料科学（CMS）、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏（PV）、OLED（发光二极管）、有机薄膜

v 最大样品尺寸：8英寸

v 溅射源：强磁靶、永磁靶，数量根据用户定制

v 电源：直流电源、射频电压

v 真空系统：超高真空

v 样品台加热：最高至1100℃

v 控制系统：全自动控制

v 进样室：根据用户需求定制