人工将载板放到上下料工作台上，通过上下料工作台将载板放到上抛光盘上，然后进行自动抛光，机台配置摩擦力终点检测，可自动抛光至目标值才停止。

TPP-1310

• 晶圆尺寸

  515*510mm / 600*600mm

• 抛光头数量

  1 个

• 抛光头直径

  OD930 mm

• 抛光盘直径

  OD1300 mm

产品特点

终点检测

配备先进的高精度EPD监测功能

分区加压

优化压力分布，确保抛光均匀性

兼容性好

设备可兼容不同尺寸的基板

半自动上下料

**轻接触上下料系统，避免损伤