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磨削方式:干磨
结合剂类型:其他
金刚石类型:人工金刚石
全自动单轴减薄机 IVG-2040
全自动减薄抛光一体机 TGP-3350
全自动减薄机 TFG-2200/3200 series
该系列双面抛光机采用上抛光盘可摆出式设计,气囊加压方式,搭配不同的抛光垫、抛光液可以实现各种材料的双面抛光。
TDP-1200TDP-1204TDP-1500
抛光压力
Max1000 kgf
上下抛光盘尺寸
OD1100 mm
游星轮数量
6个
产品特点
加压方式
气囊加压方式 比例阀精确控制压力
加工方式
双面加工
工艺优化
独特的抛光盘面型控制工艺
恒温控制
抛光盘温度控制系统
型号: 玻璃基板CMP TPP-1310
型号: 化学机械抛光机 TMP-150
型号: 全自动化学机械抛光机 TPC-2110
型号: 化学机械抛光机 TMP-200S
北京特思迪半导体设备有限公司
91110113MA01QD507X
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