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磨削方式:干磨
结合剂类型:其他
金刚石类型:人工金刚石
全自动单轴减薄机 IVG-2040
全自动减薄抛光一体机 TGP-3350
全自动减薄机 TFG-2200/3200 series
该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备,配置抛光盘冷却和温度监控系统,保证抛光过程恒温,设备操作简单、配置丰富,可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等(可选配车刀系统),配合不同类型的抛光液,适用于各种半导体材料的抛光。
TSP-400TSP-450
抛光盘规格
OD400 mm
抛光头数量
2个
抛光头加压方式
砝码或真空抛光压头
抛光头摆动功能
具备
型号: 玻璃基板CMP TPP-1310
型号: 化学机械抛光机 TMP-150
型号: 全自动化学机械抛光机 TPC-2110
型号: 化学机械抛光机 TMP-200S
北京特思迪半导体设备有限公司
91110113MA01QD507X
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