该设备是桌面式的高精度单面抛光设备，设备占地小，操作简单，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等，配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。

• 抛光盘规格

  OD380 mm

• 抛光头数量

  2个

• 抛光头加压方式

  砝码或真空抛光压头

产品特点

加压方式

真空压头/砝码加压

驱动形式

抛光压头自转&摆动驱动系统

工艺优化

抛光压头面型可调整

供液方式

可调流量蠕动泵供液&真空喷射供液