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WSPS-915-75K大功率固态微波源

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MPCVD-10D型微波等离子体化学气相沉积设备

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裂缝耦合微波等离子体沉积系统

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MPCVD-6B/10B微波等离子体化学气相沉积

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小圆柱式微波等离子体沉积（CVD）系统

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抛物面环形天线微波等离子体沉积系统

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75KW环形天线微波等离子体沉积系统

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MW-1070微波等离子设备——10kw

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MPCVD 6KW、10KW、915 50KW碟形腔

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