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微波功率:12kw
MW-1070微波等离子设备——10kw
生长台尺寸:φ70mm 可同时生长7mm*7mm单晶45粒
10mm*10mm单晶21粒
控制方式:触摸屏控制,PLC工艺菜单运行(手动或自动)
微波电源: MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泵
流量计:日本KOFLOC
型号: MW-1070微波等离子设备——10kw
成都稳正科技有限公司
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