生长台尺寸：φ100mm  

控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动）

微波电源： MUEGGE  10KW 2.45GHz    

真空泵：Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量计：日本KOFLOC

H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）

腔体冷却方式：水冷

测温：红外测温仪300-1400℃

机台尺寸：1215mm（长）*1114mm（宽）*2000mm（高）

供电：380V  三相五线

能耗：16kw