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微波频率:2.45GHz
裂缝耦合微波等离子体沉积系统
抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
75KW环形天线微波等离子体沉积系统
该设备为微波等离子化学气相沉积系统(MWCVD)。采用2.45GHz频率微波源,电场激发谐振腔模式为TM013模式,激发稳定的等离子体。该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆。通过工艺调节,可以稳定生长出 2 英寸金刚石晶圆。
主要应用领域:半导体衬底、热沉片、珠宝、刀具、机械密封、新一代移动通信、智能电网、消费类电子等。
型号: 75KW环形天线微波等离子体沉积系统
型号: 裂缝耦合微波等离子体沉积系统
型号: 抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
型号: 第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备
杭州晶驰机电有限公司
91330109MA2KHL3N6A
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