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微波等离子体装备
小圆柱式微波等离子体沉积（CVD）系统
抛物面环形天线微波等离子体沉积系统
裂缝耦合微波等离子体沉积系统
75KW环形天线微波等离子体沉积系统
CVD长晶设备
第二代碳化硅晶片腐蚀清洗设备
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