一、技术亮点

1、样品台可360°旋转。

2、特殊设计生长台，适合球面金刚石生长。

3、真空保压效果好，更适合沉积高纯金刚石。

4、质量可靠，性能优越，连续工作时间更长。

5、微波等离子体能量集中，不烧玻璃。

6、设备零部件模块化，节省工艺成本。

7、同一腔体支持6~10KW微波源更换。

8、生长台有效直径60~80mm。

9、核心零部件全进口。

二、应用领域

MPCVD设备适于沉积单晶、多晶金刚石薄膜，类金刚石薄膜的化学气相沉积及材料表面处理、改性及掺杂等相关工作。人造钻石、金刚石目前已广泛应用于金刚石材料、复合热沉积、精密刀具刀头、光学窗口、功率电子器件等领域。