Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金刚石晶体生长系统，是实现高质量金刚石晶体生长、高纯度晶体薄膜沉积、高温晶体热处理的专业设备。广泛应用于金刚石晶体生长、原料沉积、晶体热处理领域。
技术参数
序号 | 项目 | 规格/参数 |
01 | 尺寸(约) | 1800x1200x2100mm |
02 | 重量(约) | 500kg |
03 | 微波功率 | MAX 12kw/2.45GHZ |
04 | 微波泄漏值 | ＜5mw/cm2 |
05 | 腔体材料 | 风冷式石英中罩式腔体，高纯石英密封环 |
06 | 腔体保压 | 2小时保压漏率小于0.3Torr |
07 | 主要气体管道 | 5路MFC |
08 | 极限真空值 | ＜1.0x10-9mbar.l/s |
09 | 极限真空 | ≤0.6Pa |
10 | 进样口 | 底面升降进样口 |
11 | 制程温度范围 | 0-1400℃ （MAX 1500℃） |
12 | 工作压力范围 | 0-300Torr |
13 | 生长速率 | 0-30μm可控 |
14 | 有效沉积区域 | 76.8-83.6mm |
亮点
我们研发的金刚石专业设备属国内领先，设备自动化程序高、控制精度高，所生产的产品质量优，成品率高，能耗极低。生产人员拥有多年CVD法生产经验和技术。
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