产品概述
卓远半导体运用先进工艺，以晶体生长工艺技术为导向，研发出金刚石长晶设备。其所使用的真空微波电浆系统是智能化、高科技真空电浆运用的主流。
技术参数
序号 | 项目 | 规格/参数 |
01 | 尺寸（约） | 1450L*1130W*1880H (mm) |
02 | 重量（约） | 380 kg |
03 | 微波功率 | 6kw/2.45GHZ |
04 | 腔体材料 | Stainless Steel |
05 | 冷却方式 | Water-cooling |
06 | 底盘高度 | 50mm(2inch) |
07 | 主要气体管道 | 4路MFC |
08 | 工作压力范围 | 10-200 torr |
09 | 真空检漏值 | 1X10-9mbar.l/sec |
10 | 真空泵 | Rotary Pump[(18/22)m3/h(50/60HZ)] |
11 | CDA压力 | 5-7kg/cm2 |
12 | 水压 | 5-7kg/cm2 |
13 | 电压 | 3Φ400V±10%/50Hz/60Hz |
14 | 电流 | 30 A |
亮点
我们研发的金刚石专业设备属国内领先，设备自动化程序高、控制精度高，所生产的产品质量优，成品率高，能耗极低。生产人员拥有多年CVD法生产经验和技术。
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