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晶圆翘曲应力测量仪(桌面式)
报价:面议
品牌: 瑞霏光电
产地: 江苏
关注度: 116
型号: 晶圆翘曲应力测量仪(桌面式)
核心参数

器件类型:二极管

掺杂类型:p型(硼)

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晶圆翘曲应力测量仪 Stress Mapper

全自动晶圆内应力检测仪 SVi

晶圆几何形貌测量系统(WT 系列)

产品介绍


SM200_d 技术规格

 

项目参数
测量对象2英寸-8英寸抛光/图形晶圆
采样间隔均匀全口径采样,最小采样间隔0.1mm
测量时间单次测量时间 <30s (6英寸晶圆全口径)
三维翘曲翘曲测量范围0.5μm-5000μm*
重复性0.2μm或1%精度0.5μm或1.5%
薄膜应力应力测量范围1 MPa - 10000 MPa
曲率测量范围0.5m-10000m
曲率半径重复精度<1% 1σ (@曲率半径25 m)
薄膜应力重复精度1.5MPa或1%
工作软件Stress Mapper 软件:采图、测量控制及计算分析
软件功能三维翘曲显示、晶圆翘曲参数统计(BOW,WARP等)、薄膜应力及分布、时变稳定性分析、多种拟合算法、空间滤波算法等


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苏州瑞霏光电科技有限公司为您提供瑞霏光电晶圆翘曲应力测量仪(桌面式),晶圆翘曲应力测量仪(桌面式)产地为江苏,属于半导体器件,除了晶圆翘曲应力测量仪(桌面式)的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供晶圆翘曲应力测量仪 Stress Mapper、全自动晶圆内应力检测仪 SVi、晶圆几何形貌测量系统(WT 系列)。
工商信息
企业名称

苏州瑞霏光电科技有限公司

企业类型

信用代码

91320585MA1X1FRW9W

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