优势
✔️ 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量
✔️ 采用**双远心检测光路，相位延迟测量精度高
✔️ 高成像解析度呈现材料微小内部缺陷（微管，晶界滑移）
✔️ 订制化样品托盘，适应不同规格晶圆批量测试
适用对象
适用于化合物晶圆片（SiC、GaO等）、蓝宝石晶圆、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测
适用领域
面向化合物晶圆籽晶筛选、长晶质量管控，晶圆加工工艺管控、晶圆成品质量管控等晶圆生产过程
测量原理
Strain Viewer 技术规格
| 产品型号 | SV200 | SV300 |
|---|
| 样品测量口径 | 兼容2-8英寸晶圆 (200*200mm) 可订制化样品载台 | 兼容2-12英寸晶圆 (300*300mm) 可订制化样品载台 |
| 应力测量输出内容 | 相位延迟（°）及光学延迟（nm）归一化延迟（nm/mm）综合应力（MPa）及方位角 |
| 测量光源 | 630nm LED光源 (可选配其它光源) |
| 尺寸量测横向分辨率 | 25μm |
| 应力测量范围 | 0~150nm光学延迟 |
| 方位角测量范围 | 0-180 ° |
| 测量重复性 | 0.5nm光学延迟，0.5 °方位角 |
| 测量准确性 | ±1nm光学延迟, ±1.5 °方位角 |
| 应力图像解析度 | 1600 万像素 （@6英寸晶圆） | 3400 万像素 （@8英寸晶圆） 7700 万像素 （@12英寸晶圆） |
| 单次测量时间 | 典型 <35秒（@6英寸晶圆） | <50秒（@8英寸晶圆） <1.5分钟（@12英寸晶圆） |
| 样品载台 | 大尺寸电动XY位移台： 250*350mm 支持自动拼接 | 大尺寸电动XY位移台： 320*700mm 支持自动拼接 |
| 微管缺陷计数模块 | 可选配 |
| 设备尺寸 | 一体式机柜：870mm* 950mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统 | 一体式机柜：1050mm* 1230mm* 1800mm 可加装晶圆自动传片系统 |
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