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器件类型:二极管
掺杂类型:p型(硼)
AltraPure® Giga AT 在线气体过滤器
不锈钢过滤器壳体
在线气体过滤器.
产品描述
AltraPure® II SFTX 在线气体过滤器,设计用于对半导体制程工艺气体进行≥3nm(0.003μm)的颗粒物过滤。
产品特点
• 全金属结构• 消除真空释气• 更大过滤面积• 结构紧凑,应用于有限空间内• 100%完整性测试• 100%气密性测试• 高温、动态高压差应用• 洁净室制作、包装• 超精密清洗
产品系列Product
工作流量Flow
过滤精度Rating
接口类型Connections
接口尺寸Size
行业代码Industry
SFTX
100
NM03
RR
4
S
SFTX-AltraPure® IISFTX, 316L壳体
100-0~100slpm200-0~200slpm300-0~300slpm
NM03-0.003μm
4-1/4"6-3/8"8-1/2"12-3/4"
S:半导体行业
型号: AltraPure® Giga AT 在线气体过滤器
型号: AltraPure Max 系列在线式气体过滤器
型号: 在线气体过滤器.
型号: 不锈钢过滤器壳体
上海敖纯过滤技术有限公司
91310114MAC7MYG93J
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