产品描述
AltraPure Mini在线式气体过滤器专为超高纯度气体过滤应用而设计。过滤器采用2层PTFE滤膜，对干燥气体的过滤精度达到0.003μm。
过滤器采用高纯度全氟聚合物内芯，具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如:大宗气体输送、光刻、沉积、干法刻蚀、离子注入、氧化、扩散等半导体工艺制程中工艺气体、吹扫气体、保护气体、载体气体等的过滤。
产品特点
• 316L不锈钢电解抛光壳体
• 全氟内芯组件
• 优 秀的化学兼容性
• 结构紧凑,易于安装
• 耐受高温、高压工作环境
• 洁净室制作、包装
• 100%完整性测试
• 100%氦质谱检漏
• Semi F20 超纯不锈钢壳体(可选)
订购信息
壳体材质
Material | 产品系列
Product Family | 过滤精度
Rating | 接口类型
Connections | 接口尺寸
Size | 行业代码
Industry |
| APM | NM03 | RR | 4 | S |
默认:316L
V: 316L VAR | APM-AltraPure® Mini | NM03-0.003μm
0001-0.01μm
0010-0.1μm | RR-垫片密封(VCR兼容)
SS-压缩密封(SWG兼容)
BW-对接焊接
RMF-垫片密封(VCR兼容),公进/母出
RFM-垫片密封(VCR兼容),母进/公出
RC-Rc外螺纹/外螺纹
NP-NPT内螺纹/内螺纹 | 4-1/4"
6-3/8" | S-半导体行业 |
*对于压缩密封接口规格的过滤器,默认不包含安装螺母、卡套配件。若需要附带安装配件,请在型号后加“-N”。
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