产品描述

AltraPure® GSR 气体限流器，采用高品质的 316L不锈钢结构，配合独特的多孔金属烧结滤材设计，具备出色的结构强度和耐腐蚀性。

独特的多孔金属结构，能够精准控制气体流量的变化，覆盖50sccm至100slpm 宽泛流量范围。在对工艺气体流量要求持续稳定的场合下，可作为质量流量控制器、针阀和其他流量控制装置的经济实惠的替代品。

GSR 气体限流器，是控制吹扫管线、腔室回填和流量分配的理想选择。

产品特点

• 经济实惠的设计
• **结构、性能稳定
• 无堵塞的层流性能
• 全金属结构
• 耐高温高压性能
• 流量范围广泛
• 在洁净室中进行清洁并包装
• 100% 测试
• 减轻流体压力
• 防止堵塞