产品描述

AltraPure® Il SFTR 大流量气体过滤器，专为高流量的工艺气体过滤应用而进行设计，用于对半导体制程工艺气体进行≥3nm(0.003μm)的颗粒物过滤。

产品特点

• 全金属结构
• 消除真空释气
• 高温、动态高压差应用
• 高流速、低阻力
• 100%完整性测试
• 100%气密性测试
• 洁净室制作、包装
• 超精密清洗