型号： 微波等离子增强化学气相沉积系统（MPECVD / MPCVD）

型号： 电子束光刻系统EBL

型号： 柔性材料d31和d32压电系数测量装置

型号： 热释电性能测试仪 aixPYM

型号： 铁电随机存储器测试仪

型号： 铁电自放电测试仪 aixPES-DR

型号： 铁电迟豫电流测试仪 aixPES-RX

型号： 阻变式存储器测试仪 RRAM

型号： 机电薄膜e31测试仪 aix4PB

型号： 陶瓷多层执行器测试仪 aixCMA