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器件类型:二极管
掺杂类型:p型(硼)
微波等离子增强化学气相沉积系统(MPECVD / MPCVD)
铁电随机存储器测试仪
电子束光刻系统EBL
本设备主要用来研究电介质材料的自漏电性。由于测试条件非常接近实际情况,因此通过这种方式可容易地测试应用于DRAM材料的合适性。
技术说明:电压脉冲发生器:
**电压放大: +/- 10 V;
*小脉冲长度:50 ns;
**脉冲长度:640 μs。
开关性能:
激励弛豫时间<2ns;
Ron< 50 Ω;
Roff >1013 Ω。
高阻抗电流计:
输入阻抗:1013 Ω;
输入电容:30 fF。
型号: 微波等离子增强化学气相沉积系统(MPECVD / MPCVD)
型号: 电子束光刻系统EBL
型号: 柔性材料d31和d32压电系数测量装置
型号: 热释电性能测试仪 aixPYM
欣源科技(北京)有限公司
91110108MA00735T2K
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