型号： 高附加值先进材料系统模块

型号： 高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块

型号： 高附加值高纯MO源模块

型号： 全自动硅芯炉

型号： 化合物晶体炉

型号： 高温烧结炉

型号： 硅单晶生长炉

型号： 电子级多晶硅化学气相沉积炉