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器件类型:二极管
掺杂类型:p型(硼)
高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块
高附加值高纯MO源模块
全自动硅芯炉
产品特点
>设备装料量大,生产效率高,生产成本低;
>采用全面数字化管理,配合高精度的CCD控制系统,全面提供设备自动化程度;
>采用自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可靠。
产品参数
型号: 高附加值先进材料系统模块
型号: 高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块
型号: 高附加值高纯MO源模块
型号: 全自动硅芯炉
上海韵申新能源科技有限公司
91310118052990077L
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