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器件类型:二极管
掺杂类型:p型(硼)
高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块
高附加值高纯MO源模块
全自动硅芯炉
产品特点
采用提拉法、导模法、物理气相传输法、液相法等生长工艺,在真空或高压工况下,采用电阻/感应等加热方式,配合精密的机械传动机构,精准的温度控制技术和自动化的控制程序,从而生长出各种人工晶体材料。
工作压力:真空或高压
最高加热温度:22000°C
加热形式:电阻或感应
控温精度:≤±0.5℃℃
配套流场和温场仿真计算
集成化设计,自动化程度高
可根据客户需求进行定制化设计可提供产品:
蓝宝石长晶炉
磷化铟多晶合成炉
磷化铟单晶生长炉
砷化镓长晶炉
碳化硅长晶炉
氧化镓长晶炉
型号: 高附加值先进材料系统模块
型号: 高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块
型号: 高附加值高纯MO源模块
型号: 全自动硅芯炉
上海韵申新能源科技有限公司
91310118052990077L
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