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青岛精诚华旗微电子设备有限公司为专业的半导体工艺设备及 先进材料专用设备研发、制造厂家。主要产品系列:扩散炉、氧化炉、LPCVD低压化学气相沉积、HVPE晶体生长、真空炉及半导体废气处理等。 致力于为半导体集成电路分立器件、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备, 工艺含盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化扩散退火(含快速退火工艺)合金、真空烧结等工艺。我公司制造的半导体工艺设备覆盖一、二、三、四代半导体材料-硅、砷化镓、氮化镓等等,高性能磁性材料真空设备(钐钴、钕铁硼等),同时承担了国家部分863项目(如半导体白光照明GaN生长的HV
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