适用于SIH4硅烷，NH3氨气，N20笑气，HCI氯化气等大流量工艺需求的介质。

设备基础配置参数：

l 供气盘面：自动/手切气体切换，自动/手动气体吹扫

l 自动远程切断

l 防爆玻璃观察窗、防爆自锁门、防爆电控箱

l 10-12寸彩色中文人机界面，实现人气分离全自动触摸屏操作

l 泄露报警、负压报警

可选配置：

l 面板加热

l 钢瓶加热

l 电子磅秤

配置 UV/IR,喷淋头，高温，烟感应