产品特点

多工位手套箱净化防护系统水氧含量≤0.1ppm

德国宝德电磁阀模块化设计，优良的密封性能欧洲工艺要求宽压力范围运行到10 -9 Torr低排气

优异的薄膜均匀性和沉积速率高效的溅射靶材利用率

优异的目标管理机制消除了对热育，管理人员等的需要，紧凑型，模块化磁体阵列磁铁未暴露于真空、磁铁未暴露于冷却水中靶材更换期间，冷却水不会暴露在真空室内不平衡的操作和带磁材料的兼容性是可用的全系列配件(通气，烟囱，百叶窗，集群阵列等)走制溅射源配置可用