SS400是一套用于芯片散热的贴装系统,在TIM1/TIM2高效率散热场景趋势下,支持作业导热硅脂、铟片、无助焊剂铟片、石墨烯、金刚石、复合金刚石材料等散热场景。并配套助焊剂喷涂、被动元器件围坝与填充的工艺配置。
该设备兼容大尺寸芯片FCBGA趋势,并支持兼容Q-Panel连板的作业能力,是一款大尺寸全场景的散热贴装系统。
特性优点
高散热多场景支持导热硅脂工艺、铟片工艺、无助焊剂铟片工艺、贴石墨烯、金刚石及复合金刚石等材料;
支持搭载多种阀体:压电阀、螺杆阀、Flux Spray喷雾阀、双组份计量阀等,支持丰富的工艺种类。
高效率整线具备独立双工位模式,具备双轨模式,实现高UPH。
高拓展性可搭载倾斜旋转配置,支持CPO器件点胶。
大尺寸能力支持双轨道治具340*340mm点胶,贴Ring或LID支持150*150mm,符合大尺寸芯片趋势;
设备支持大尺寸芯片FCBGA及O-Panel连板模式,具备3T热压能力;
支持TCB贴装头配置,快速升降温进行无助焊剂铟片直接贴合,无需Snapcure等待热压;
支持TCB贴装头模式,直接键合芯片与铜/金刚石复合材料,降低界面热阻;
支持电机顶升柔性作业,适应玻璃基板制程柔性作业。
应用场景
| 主要场景 | 配置 |
| 导热硅脂(TIM) | Load-AD-Tim-Lid Attach-SnapCure-Unload(基础配置) |
| 铟片制程、有助焊剂(Indium) | Load-Flux Spray-Indium Attach-Flux Spray-AD-Lid Attach-SnapCure-Unload(基础配置) |
Load-Coating-Cure-AOI-Flux Spray-Indium Attach-Flux Spray-AD-Lid Attach-SnapCure-Unload (带被动元器件的围坝与填充) |
局部线模式: 局部线①Load-Coating-Cure-AOI + 局部线②Flux Spray-Indium Attach-Flux Spray + 局部线③AD-Lid Attach-SnapCure-Unload |
| 铟片制程、无助焊剂(Indium) | Load-Indium Attach(3代铟片)-TCB Mode Lid Attach(快速升降温熔融)-Unload(基础配置) |
| 石墨烯导热垫片 | Load-Film TIM Graphene Attach-Lid Attach-SnapCure-Unload |
| 金刚石、铜复合材料(可镀金) | Load-液态镓基金属-TCB Mode Lid Attach(快速升降温熔融)-Unload |
技术规格
| 洁净等级 | 作业区洁净度 | 百级 |
| 传动机构 | 传动系统 | X/Y:直线电机 Z:伺服电机&丝杆模组 |
| 重复定位精度(3 sigma) | X/Y:±0.005mm Z:±0.005mm |
| 定位精度(3 sigma) | X/Y:±0.010mm Z:±0.010mm |
| **运动速度 | X/Y:1500mm/s Z:500mm/s |
| **加速度 | X/Y:1.5g Z:0.5g |
| 光栅尺分辨率 | 0.5μm |
| 核心部件能力 | 镭射探高精度 | ±1μm |
| 电子秤量精度 | 0.01mg |
| Mark相机 | 分辨率:500万 像素精度:8μm/pixel |
| 控胶系统 | 搭载压电阀、螺杆阀、FLUX SPRAY喷雾阀、双组份计量阀等,可支持丰富的工艺种类 |
| 作业能力 | 系统配置 | 具备两套独立的点胶阀、测高、称重、相机系统 |
| 轨道配置 | 双轨道 |
| 轨道尺寸 | 支持治具340*340mm |
| 公共条件 | 系统占地(W*D*H) | 8300*1600*2100mm |
| 系统重量(kg) | 1300kg |