将ALK碱性电解水制氢与膜分离氢气纯化技术高度集成，制氢与纯化一体化，高效制取9N级超纯氢气。采用风光等可再生能源发电，ZQ-UHG-ALK制氢，有望成为半导体等领域超纯氢供给的新模式，大幅度降低用氢成本，提高用氢安全。与ZQ-UHG-PE一体机(L/min)相比，ZQ-UHG-ALK一体机主要面向制氢量大的场景(Nm³/h)。
适用领域：CVD法制备第三代半导体、LED、LCD、光伏异质结、TOPCon等；电解水制氢加氢一体站等。
超纯度
长寿命
智能化
人性化
· 采用ALK+膜纯化技术
· 产品氢纯度 ≥ 99.9999999%
· 露点＜-100 ℃
产品参数
| 型号 | ZQ-UHG-ALK20 | ZQ-UHG-ALK60 | ZQ-UHG-ALK100 | ZQ-UHG-ALK300 |
产氢量（L/min）
| 0-20 | 0-60 | 0-100 | 0-300 |
| 产品氢压力（MPaG） | ≥0.6 | ≥0.6 | ≥0.6 | ≥0.6 |
| 产品氢纯度（Vol%） | ≥9N | ≥9N | ≥9N | ≥9N |
| 产品氢露点（℃） | ＜-100 | ＜-100 | ＜-100 | ＜-100 |
| 使用寿命（年） | 纯化单元使用寿命＞3年，设备使⽤寿命＞10年 |
| 长 × 宽 × 高（mm） | 2500×2000×2000
| 3200×2000×2000 | 4000×2000×2000 | 7000×2000×2000 |
| 重量（kg） | 750
| 900
| 1200
| 2000
|
| 备注 | 表中仅列出标准型号，更多需求请与中氢新能源联系 |
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