超纯保障

“手撕钢”级高品质钯管膜氢气纯化技术

产品氢气纯度>9N，O₂,H₂O,CO,CO₂,N₂,NMHCHe,Ar去除至<1ppb

超长寿命

超耐H₂0 和O₂、抗压力和用氢量波动、抗意外停电

使用寿命≥80000 h

超高安全

氮气吹扫保护、氢气传感器报警、压力和流量监测

PLC触摸屏操控，支持数据存储与故障追溯

整机防爆、高集成、易运维、静音设计、环境友好

超快响应

全周期工艺适配支持:覆盖售前选型指导、售中标准化安装调试、售后“一机一档”专业维保

快速响应，售后无忧:提供7*24小时全天候支持，24小时闭环解决方案，36小时内解决常规故障

超强适配

MOCVD法制备半导体、LED晶圆制造、晶体生长等

全面的产品和体系证书

质量管理体系符合:ISO:9001:2015

环境管理体系符合:ISO: 14001:2015

职业健康与安全管理体系符合:ISO:45001:2018