CS310C

CS320C

CS310D

CS320D

阀类型

常开

常闭

无

常开或常闭

无

常开或常闭

无

常开或常闭

无

流量规格(N2)

(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 0.8sec            （≤ 0.5sec  optional）

工作压差范围

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15～0.35MPa  流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

温度系数

零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃

耐压

3.5 MPa

1 MPa

3.5 MPa

3.5 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

最大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

（0～50）℃

输入信号

数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC

无

数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC

无

数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC

无

数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC

无

输出信号

数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT  
模拟：(0～5)VDC

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）

-

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头；
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

VCR1/4阳接头；
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头；EtherCAT接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg